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自動(dòng)勻膠機(jī)

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設(shè)備名稱 自動(dòng)勻膠機(jī)  品牌型號(hào) (2C)KS -S(III)100 -2

設(shè)備用途
通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的電機(jī)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng),結(jié)合自動(dòng)滴膠,將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。帶有自動(dòng)熱板和冷板。

主要技術(shù)指標(biāo):
可用晶圓尺寸:2inch 3inch
最大轉(zhuǎn)速:4500rpm
轉(zhuǎn)速偏差:±1RPM
熱板溫度范圍: 50-150℃
冷板溫度范圍:18-28℃
膜厚均勻性:3%(對(duì)2μm厚度以下膠)

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